従来の紫外線ランプとして殺菌用の水銀灯や希ガスとハロゲンを用いたエキシマランプが使用されている。水銀灯は254nmの発光スペクトルを持ち殺菌に有効であるが水銀を用いているため廃棄時には環境負荷がかかる。エキシマランプは媒質によって波長が異なるが、例えばKrClエキシマは222nmに発光の中心波長がある。エキシマランプでは放電媒質としては高価な希ガス(KrやXe)とハロゲンを用いており構造も複雑である。
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