安価な放電ガスに高電圧パルスを印加することにより、放電プラズマから深紫外～紫外光（200～400nm）を発光
Advantages
- 水銀を用いないため環境にやさしい
- ハロゲンランプのような高価な希ガスやハロゲンを用いず、安価で構造がシンプル
- 殺菌／浄化／半導体アニール／樹脂硬化等に利用可能
Background and Technology
従来の紫外線ランプとして殺菌用の水銀灯や希ガスとハロゲンを用いたエキシマランプが使用されている。水銀灯は254nmの発光スペクトルを持ち殺菌に有効であるが水銀を用いているため廃棄時には環境負荷がかかる。エキシマランプは媒質によって波長が異なるが、例えばKrClエキシマは222nmに発光の中心波長がある。エキシマランプでは放電媒質としては高価な希ガス（KrやXe）とハロゲンを用いており構造も複雑である。
本発明の深紫外光源は、安価で入手が容易な放電ガスを用いている。高電圧パルス電源は初期費用はかかるがランニングは安い。構造がシンプルかつ環境負荷が低いため、従来の水銀ランプやエキシマランプに対しアドバンテージがあると思われる。また、深紫外LEDが開発され製造販売されているが、発光強度の点で本発明の光源にアドバンテージがある。
Expectations
- プロトタイプによりコンセプトは実証済
- 今後、更に最適なプラズマ媒体・放電条件の検討や電圧を下げるための研究を計画
- 本技術について協働して実用化研究開発に取り組むパートナー企業を募集中。
- 秘密保持契約によりプラズマ媒体や放電条件を開示し、フィージビリティスタディが可能。
Patents
特許出願済（未公開）
Researchers
佐久川貴志 教授 （熊本大学 産業ナノマテリアル研究所）
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