位相イメージングにおいて、ハードウェア変更が不要で、高精度な位相画像取得方法

2021/01/12 00:28 By Tech Manage

Background and Technology

 位相イメージングでは、マッハツェンダー型干渉計やタルボ干渉計を用いることで測定した干渉縞画像から、数学的な処理を用いて位相情報を求めている。 

 干渉縞画像から位相情報を求める方法は、縞走査法(Fringe Scan)とフーリエ変換法があり、それぞれ以下の欠点がある。 

縞走査法:3枚の干渉縞画像を測定する必要があり、ハードウェア的な位置合わせが煩。 

フーリエ変換法:被測定対象物の持つ細かい構造が再現できず、分解能が悪化  


 干渉縞画像から位相情報を求めるための、第3の方法を開発した。 縞走査法と異なり、一枚の縞画像から位相情報を取得できる。

測定装置のハードウェア的な簡素化によるコストダウンが可能 フーリエ変換法と異なり、分解能が向上。

例えば、ミクロン程度の従来方法から、サブミクロン程度に分解が可能になる。 


詳しくは、特許出願WO2019/240165または学会発表(英) https://doi.org/10.1117/12.2513109 をご覧ください。

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